Der älteste der evangelisch-lutherischen A. bestand 1578-1820 an der Annenkirche. Ein zweiter Friedhof der Annenkirchgemeinde wurde 1717 an der Josephinengasse (neben dem Sternplatz) angelegt, 1867 geschlossen und 1914 eingeebnet.
Mit dem Anwachsen der Einwohnerzahl wurde 1848 auf Plauener Flur am Hahneberg nach Plänen von Christian Gottlieb Spiess ein neuer Friedhof angelegt. Zu den ersten hier Bestatteten zählten Opfer des Maiaufstandes 1849, für die ein Obelisk errichtet wurde. Neben dem Friedhofsgebäude befindet sich die Statue der Kurfürstin Anna, die Robert Henze (hier begraben) für den ursprünglichen Standort an der Annenkirche schuf.
1983 legte die Technische Universität auf der aufgelassenen Grabstätte von Hermann Hettner eine Gedenkstätte für 9 Professoren an, deren Gräber auf dem Friedhof nicht mehr zu rekonstruieren waren: Neben Hettner für August Seebeck, den Mathematiker Oskar Schlömilch (1823 – 1903), Gustav Anton Zeuner, den Statiker Wilhelm Fränkel (1841 – 1895), Karl Weissbach, Ambrosius Hülsse, Martin Dülfer und den Mathematiker Georg Helm (1851 – 1923).
Zahlreiche weitere Persönlichkeiten wurden auf dem Friedhof begraben, u. a. Johann Carl Ulrich Bähr, Gustav Woldemar von Biedermann, Theodor Choulant, Bogumil Dawison, Emil Devrient, Friedrich Wilhelm Enzmann, Hanns Bruno Geinitz, der Kammersänger Heinrich Wilhelm Gudehus, Otto Leonhard Heubner, Friedrich August Lesske, der Geodäsieprofessor Christian August Nagel (1821 – 1903), Richard Wagners erste Ehefrau Minna Planer (1809 – 1866), Julius Schnorr von Carolsfeld und die Wagner-Interpreten Ludwig Schnorr von Carolsfeld (1830 – 1865) und Malwine geb. Garrigues (1825 – 1904), Alfred Stübel und die Schauspielerin Pauline Ulrich.
1875 legte die Annenkirchgemeinde auf Löbtauer Flur an der Kesselsdorfer Straße einen weiteren Friedhof an. Die Gebäude wurden 1878 durch den Semper-Schüler Rudolf Wimmer vollendet (Reliefs von Martin Engelke; Kuppelhalle 1945 zerstört).
Grabstätten von Paul Büttner, Friedrich Siemens und dem Flugpionier Hermann Reichelt (1878 – 1914); an der Südseite 594 Kriegsgräber, überwiegend Opfer des Luftangriffs vom 17. April 1945.
An dem Friedhof schließt sich seit 1898 der Friedhof „Friede und Hoffnung“ an.